Micropto: pressure sensor.

Pressure sensor

Schema elettrico del sensore di pressione.

Collegamenti al chip sensore di pressione.

Technical characteristics of the pressure bare chip sensor MO-DPS01

Il sensore di pressione DPS01 è di tipo piezoresistivo realizzato su un piccolo chip monolitico in silicio dotato di un sottile diaframma ottenuto per tecnologia micromachining. Un ponte di Wheatstone realizzato da quattro resistori sopra la membrana viene interessato dalla deformazione della membrana stessa quando sollecitata, ciò permette di convertire la grandezza meccanica in un segnale elettrico.

La grandezza meccanica da misurare viene rilevata sulla parte posteriore del sensore dove non compaiono parti del circuito attivo.

Caratteristiche:

Operating pressure range	0 - 1 Bar
Overpressure (min)	5 Bar
Supply current	1 - 5 mA
Operating temperature range	-40, +120 °C
Storage temperature range	-40, +120 °C
Dimensions (W/L/H)	1950/1950/385 µm
Input resistance	390 - 430 ohm
Output resistance	390 - 430 ohm
Sensitivity	30 mV/V/Bar
Offset Voltage at Zero pressure (max.)	5 mV/V
Temperature Coeff. of resistance	0.5 ohm /°C
Temperature Coeff. of offset voltage (max.)	0.2 mmHg/°C
Offset repeatability	± 0.1 mmHg
Span repeatibility	± 0.3 mmHg
Long term stability of offset and sensitivity	± 0.3 mmHg

Aluminium metalizzation.

Relative pressure sensor.

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