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MEMS e OptoMEMS


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Alcuni esempi di assemblaggio di MEMS (Micro Electro-Mechanical Systems) o Micromachined devices su packages studiati ad hoc. Piccoli sistemi elettromeccanici complessi realizzati in silicio, in grado di sentire grandezze fisice o svolgere funzioni.

 

Per gentile concessione della Scuola Superiore Sant'Anna
http://www-arts.sssup.it/tiki/tiki-index.php?page=tactile+sensors

Dispositivo progettato presso il laboratorio ARTS della Scuola Superiore Sant'Anna di Pisa e fabbricato presso l'istituto IMM di Mainz e assemblato su PCB rigide e rigido-flessibili.

 

 

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